产品介绍 Product introduction、
BT12系列为最新型大平台半导体检查显微镜,专为芯片/晶圆/LCD行业/ 粒子爆破检查,其微分干涉效果可与进口品牌相媲美,BT12系列机型采用全新设计的长工作距物镜、半复消色差技术,多层宽带镀膜技术,采用长寿命LED光源多种高度功能化的附件,能满足各种检验需要,可用于明场、暗场、简易偏光、微分干涉观察。
性能特点
■ 所有光学部件均经过特殊处理并镀有特殊膜层
■ 12英寸大平台半导体检查显微镜,其微分干涉效果可与进口品牌相媲美 ;
■ 12英寸大平台半导体检查显微镜机型采用全新设计的长工作距物镜、半复消色差技术,多层宽带镀膜技术。
■ 各种观察方法下都能得到清晰锐利与高对比度的显微图像
■ 多种高度功能化的附件,能满足半导体检查各种场景需要。
独立的金相检测系统
不同于传统的金相显微镜,欧米特金相系统显微镜选择了紧凑的结构设计,外观大气稳重,操作更为灵活。集成了明场、暗场、偏光、DIC微分干涉等多种观察功能,可根据实际应用进行选择。
明暗场反射照明器
高眼点大视野屈光度可调平场目镜
SWH10X-H/25mm高眼点大视野平场目镜, 屈光度可调。
SWH10X-H/25mm超宽25mm视野高眼点目镜,相对常规22mm的视场范围,视野更加平坦,宽广,并且视场边缘都能保证清晰明亮,给用户更加舒适的视觉感受。提供更加平台的观察范围,提高工作效率。更大值域屈光度调节范围可满足更多用户的使用需求。
亦可选配其它倍率、视场,并根据不同需求添加指针、测微尺及视度可调功能。
高品质专业LCD检测金相物镜
名称 | 倍率 | 数值孔径 | 工作距离 |
45mm 明暗场物镜 | 5X | 0.15 | 14.8mm |
10X | 0.30 | 8.5mm | |
20X | 0.45 | 11.9mm | |
50X | 0.75 | 3.0mm | |
100X | 0.80 | 3.0mm |
偏光组件及DIC诺曼尔斯基微分干涉衬比系统附件
偏振系统包括了起偏镜插板和检偏镜插板,可做偏光检测,在半导体和PCB检测中,可消除杂光,细节更去清洗。360度旋转式检偏器可以在不移动标本的情况下,方便的观察标本在不同偏振角度光线下呈现的状态.
在正交偏光的基础上,插入DlC棱镜,可进行DIC微分干涉相衬观察。DIC技术可以使物体表面微小的高低差产生明显的浮雕效果,大幅提高图像对比度。
采用高性能微分干涉组件,可以将明场观察下无法检测的细微高低差,转化为高对比度的明暗差并以立体浮雕形式表现出来,广泛用于LCD导电粒子,精密磁盘表面划痕检测等领域。
高精度机械载物台
大行程平台含快速移动装置,平台面积760*430mm,玻璃台面:310mm*418mm,移动行程:300mmX300mm机械平台,X、Y方向同轴调节;手动XY载物台通过内嵌的离合器机构和XY调节手柄,可粗调和微调载物台位置。使用离合装置,操作员可在观察中自由移动载物台,提高整体效率。这样,可在使用目镜观察的过程中,不受限制地移动载物台,使得观察速度更快,操作更舒适。
显微镜使用效果展示:
电脑型12英寸半导体检查显微镜技术规格表:
型号 | 配置 | BT12-BD-1D | BT12-BD-2D |
光学系统 | 无限远色差校正光学系统 | ● | ● |
光学放大倍数 | 50倍-500倍(可选500/1000倍) | ● | ● |
数码放大倍数 | 150倍-1500倍(21.5寸显示器) | ● | ● |
工业相机 | 1200万1/1.8寸彩色索尼工业芯片(可选630万和2000万像素) | ● | ● |
观察筒 | 正像,无限远铰链三通观察筒,瞳距调节:50mm~76mm,两档分光比双目:三目=100:0 | ○ | ● |
反像,无限远铰链三通观察筒,瞳距调节:50mm~76mm,两档分光比双目:三目=100:0 | ● | ○ | |
目镜 | 高眼点大视野目镜SWH10X-H/23mm,视度可调 | ● | ○ |
高眼点大视野目镜SWH10X-H/25mm,视度可调 | ○ | ● | |
物镜 | 无限远半复消长距明暗场物镜 45MM可见光金相物镜5X NA0.15 WD14.8mm | ● | ● |
无限远半复消长距明暗场物镜 45MM可见光金相物镜10X NA0.30 WD8.5mm | ● | ● | |
无限远半复消长距明暗场物镜 45MM可见光金相物镜20X NA0.45 WD11.9mm | ● | ● | |
无限远半复消长距明暗场物镜 45MM可见光金相物镜50X NA0.75 WD3.0mm | ● | ● | |
无限远半复消长距明暗场物镜 45MM可见光金相物镜100X NA0.80 WD3.0mm | ○ | ○ | |
无限远半复消长距明暗场物镜 45MM可见光金相物镜100X NA0.90 WD1.0mm | ○ | ○ | |
物镜转换器 | 5孔明暗场物镜转换器(带DIC插槽). | ● | ● |
5孔明暗场电动物镜转换器(电动/带DIC插槽). | ○ | ○ | |
机架 上光源 | 反射用机架, 低手位粗微同轴调焦机构。粗调行程35mm,微调精度0.001mm。带有防止下滑的调节松紧装置和随机上限位装置。内置100-240V宽电压系统,采用数字调光,具有光强设定与复位功能 | ● | ● |
载物台 | 12*14英寸载物台,平台面积 760*430mm,玻璃台面310*418mm,移动行程:305mmX356mm机械平台,X、Y方向同轴调节;含快速移动装置 | ● | ● |
聚光镜 | 摇出式消色差聚光镜(N.A.0.9) | ● | ● |
干涉片 | 诺曼尔斯基微分干涉片 | ○ | ○ |
反射照明器 | 明暗场反射照明器,带可变孔径光阑,视场光阑,中心可调,带滤色片插槽,带起偏镜/检偏镜插槽, | ● | ● |
灯室 | 10W可调LED灯室,透、反射通用,预定中心 | ● | ● |
摄像接口 | 摄影摄像附件:0.65X,C型接口,可调焦(可选0.5X/1X) | ● | ● |
偏光组件 | 起偏镜插板,360°旋转式检偏镜插板 | ● | ● |
电脑 | 品牌电脑和显示器 | ● | ● |
测量软件 | 测量软件BT-1.5D,软件控制电动物镜转盘,拍照,录像,测量,实时图像拼接,景深融合 | ● | ● |
标尺 | 高精度型测微尺,格值0.01mm | ● | ● |
液晶型12英寸半导体检查显微镜技术规格表:
型号 | 配置 | BT12-BD-1H | BT12-BD-2H |
光学系统 | 无限远色差校正光学系统 | ● | ● |
光学放大倍数 | 50倍-500倍(可选500/1000倍) | ● | ● |
数码放大倍数 | 150倍-1500倍(21.5寸显示器) | ● | ● |
工业相机 | 823万1/1.8寸彩色索尼4K超清工业芯片 | ● | ● |
观察筒 | 正像,无限远铰链三通观察筒,瞳距调节:50mm~76mm,两档分光比双目:三目=100:0 | ○ | ● |
反像,无限远铰链三通观察筒,瞳距调节:50mm~76mm,两档分光比双目:三目=100:0 | ● | ○ | |
目镜 | 高眼点大视野目镜SWH10X-H/23mm,视度可调 | ● | ○ |
高眼点大视野目镜SWH10X-H/25mm,视度可调 | ● | ||
物镜 | 无限远萤石半复明暗场物镜 45MM可见光金相物镜5X NA0.15 WD20.0mm | ● | ● |
无限远萤石半复明暗场物镜 45MM可见光金相物镜10X NA0.30 WD11.0mm | ● | ● | |
无限远萤石半复明暗场物镜 45MM可见光金相物镜20X NA0.45 WD3.0mm | ● | ● | |
无限远萤石半复明暗场物镜 45MM可见光金相物镜50X NA0.8 WD1.0mm | ● | ● | |
无限远萤石半复明暗场物镜 45MM可见光金相物镜100X NA0.9 WD1.0mm | ○ | ○ | |
物镜转换器 | 5孔明暗场手动物镜转换器(带DIC插槽). | ● | ● |
5孔明暗场电动物镜转换器(电动/带DIC插槽). | ○ | ○ | |
机架 上光源 | 反射用机架, 低手位粗微同轴调焦机构。粗调行程35mm,微调精度0.001mm。带有防止下滑的调节松紧装置和随机上限位装置。内置100-240V宽电压系统,采用数字调光,具有光强设定与复位功能 | ● | ● |
载物台 | 12*14英寸载物台,平台面积 760*430mm,玻璃台面310*418mm,移动行程:305mmX356mm机械平台,X、Y方向同轴调节;含快速移动装置 | ● | ● |
聚光镜 | 摇出式消色差聚光镜(N.A.0.9) | ● | ● |
干涉片 | 诺曼尔斯基微分干涉片 | ○ | ○ |
反射照明器 | 明暗场反射照明器,带可变孔径光阑,视场光阑,中心可调,带滤色片插槽,带起偏镜/检偏镜插槽, | ● | ● |
灯室 | 10W可调LED灯室,透、反射通用,预定中心 | ● | ● |
摄像接口 | 摄影摄像附件:0.65X,C型接口,可调焦(可选0.5X/1X) | ● | ● |
偏光组件 | 起偏镜插板,360°旋转式检偏镜插板 | ● | ● |
液晶显示器 | 27寸4K品牌液晶显示器 | ● | ● |
测量软件 | HDMI相机内置测量软件,拍照测量录像数据输出 | ● | ● |
标尺 | 高精度型测微尺,格值0.01mm | ● | ● |