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BT12系列芯片检查金相显微镜

分类:大平台半导体金相显微镜 发布时间:2024-03-12 310 次浏览

BT12系列为最新型大平台半导体检查显微镜,专为芯片/晶圆/LCD行业/ 粒子爆破检查,其微分干涉效果可与进口品牌相媲美,MT12系列机型采用全新设计的长工作距物镜、半复消色差技术,多层宽带镀膜技术,采用长寿命LED光源多种高度功能化的附件,能满足各种检验需要,可用于明场、暗场、简易偏光、微分干涉观察。

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    产品介绍


    产品介绍 Product introduction、


    BT12系列为最新型大平台半导体检查显微镜,专为芯片/晶圆/LCD行业/ 粒子爆破检查,其微分干涉效果可与进口品牌相媲美,BT12系列机型采用全新设计的长工作距物镜、半复消色差技术,多层宽带镀膜技术,采用长寿命LED光源多种高度功能化的附件,能满足各种检验需要,可用于明场、暗场、简易偏光、微分干涉观察。


            性能特点       


    ■ 所有光学部件均经过特殊处理并镀有特殊膜层

    ■ 12英寸大平台半导体检查显微镜,其微分干涉效果可与进口品牌相媲美 ;

    ■ 12英寸大平台半导体检查显微镜机型采用全新设计的长工作距物镜、半复消色差技术,多层宽带镀膜技术。

    ■ 各种观察方法下都能得到清晰锐利与高对比度的显微图像

    ■ 多种高度功能化的附件,能满足半导体检查各种场景需要。

     


    独立的金相检测系统


    不同于传统的金相显微镜,欧米特金相系统显微镜选择了紧凑的结构设计,外观大气稳重,操作更为灵活。集成了明场、暗场、偏光、DIC微分干涉等多种观察功能,可根据实际应用进行选择。


     明暗场反射照明器




    高眼点大视野屈光度可调平场目镜


    SWH10X-H/25mm高眼点大视野平场目镜, 屈光度可调。

    SWH10X-H/25mm超宽25mm视野高眼点目镜,相对常规22mm的视场范围,视野更加平坦,宽广,并且视场边缘都能保证清晰明亮,给用户更加舒适的视觉感受。提供更加平台的观察范围,提高工作效率。更大值域屈光度调节范围可满足更多用户的使用需求。

    亦可选配其它倍率、视场,并根据不同需求添加指针、测微尺及视度可调功能。




    高品质专业LCD检测金相物镜


    名称

    倍率

    数值孔径

    工作距离

    45mm

    明暗场物镜

    5X

    0.15

    14.8mm


    10X

    0.30

    8.5mm


    20X

    0.45

    11.9mm


    50X

    0.75

    3.0mm


    100X

    0.80

    3.0mm


    偏光组件及DIC诺曼尔斯基微分干涉衬比系统附件


    偏振系统包括了起偏镜插板和检偏镜插板,可做偏光检测,在半导体和PCB检测中,可消除杂光,细节更去清洗。360度旋转式检偏器可以在不移动标本的情况下,方便的观察标本在不同偏振角度光线下呈现的状态.

    在正交偏光的基础上,插入DlC棱镜,可进行DIC微分干涉相衬观察。DIC技术可以使物体表面微小的高低差产生明显的浮雕效果,大幅提高图像对比度。

    采用高性能微分干涉组件,可以将明场观察下无法检测的细微高低差,转化为高对比度的明暗差并以立体浮雕形式表现出来,广泛用于LCD导电粒子,精密磁盘表面划痕检测等领域。


     

     

    高精度机械载物台

    大行程平台含快速移动装置,平台面积760*430mm,玻璃台面:310mm*418mm,移动行程:300mmX300mm机械平台,X、Y方向同轴调节;手动XY载物台通过内嵌的离合器机构和XY调节手柄,可粗调和微调载物台位置。使用离合装置,操作员可在观察中自由移动载物台,提高整体效率。这样,可在使用目镜观察的过程中,不受限制地移动载物台,使得观察速度更快,操作更舒适。



    显微镜使用效果展示:



    电脑型12英寸半导体检查显微镜技术规格表:


    型号

    配置

    BT12-BD-1D

    BT12-BD-2D

    光学系统

    无限远色差校正光学系统

    光学放大倍数

    50倍-500倍(可选500/1000倍)

    数码放大倍数

    150倍-1500倍(21.5寸显示器)

    工业相机

    1200万1/1.8寸彩色索尼工业芯片(可选630万和2000万像素)

    观察筒

    正像,无限远铰链三通观察筒,瞳距调节:50mm~76mm,两档分光比双目:三目=100:0


    反像,无限远铰链三通观察筒,瞳距调节:50mm~76mm,两档分光比双目:三目=100:0

    目镜

    高眼点大视野目镜SWH10X-H/23mm,视度可调


    高眼点大视野目镜SWH10X-H/25mm,视度可调

    物镜

    无限远半复消长距明暗场物镜 45MM可见光金相物镜5X NA0.15 WD14.8mm


    无限远半复消长距明暗场物镜 45MM可见光金相物镜10X NA0.30 WD8.5mm


    无限远半复消长距明暗场物镜 45MM可见光金相物镜20X NA0.45 WD11.9mm


    无限远半复消长距明暗场物镜 45MM可见光金相物镜50X NA0.75 WD3.0mm


    无限远半复消长距明暗场物镜 45MM可见光金相物镜100X NA0.80 WD3.0mm


    无限远半复消长距明暗场物镜 45MM可见光金相物镜100X NA0.90 WD1.0mm

    物镜转换器

    5孔明暗场物镜转换器(带DIC插槽).


    5孔明暗场电动物镜转换器(电动/带DIC插槽).

    机架

    上光源

    反射用机架, 低手位粗微同轴调焦机构。粗调行程35mm,微调精度0.001mm。带有防止下滑的调节松紧装置和随机上限位装置。内置100-240V宽电压系统,采用数字调光,具有光强设定与复位功能

    载物台

    12*14英寸载物台,平台面积 760*430mm,玻璃台面310*418mm,移动行程:305mmX356mm机械平台,X、Y方向同轴调节;含快速移动装置

    聚光镜

    摇出式消色差聚光镜(N.A.0.9)

    干涉片

    诺曼尔斯基微分干涉片

    反射照明器

    明暗场反射照明器,带可变孔径光阑,视场光阑,中心可调,带滤色片插槽,带起偏镜/检偏镜插槽,

    灯室

    10W可调LED灯室,透、反射通用,预定中心

    摄像接口

    摄影摄像附件:0.65X,C型接口,可调焦(可选0.5X/1X)

    偏光组件

    起偏镜插板,360°旋转式检偏镜插板

    电脑

    品牌电脑和显示器

    测量软件

    测量软件BT-1.5D,软件控制电动物镜转盘,拍照,录像,测量,实时图像拼接,景深融合

    标尺

    高精度型测微尺,格值0.01mm


    液晶型12英寸半导体检查显微镜技术规格表:


    型号

    配置

    BT12-BD-1H

    BT12-BD-2H

    光学系统

    无限远色差校正光学系统

    光学放大倍数

    50倍-500倍(可选500/1000倍)

    数码放大倍数

    150倍-1500倍(21.5寸显示器)

    工业相机

    823万1/1.8寸彩色索尼4K超清工业芯片

    观察筒

    正像,无限远铰链三通观察筒,瞳距调节:50mm~76mm,两档分光比双目:三目=100:0


    反像,无限远铰链三通观察筒,瞳距调节:50mm~76mm,两档分光比双目:三目=100:0

    目镜

    高眼点大视野目镜SWH10X-H/23mm,视度可调


    高眼点大视野目镜SWH10X-H/25mm,视度可调


    物镜

    无限远萤石半复明暗场物镜  45MM可见光金相物镜5X NA0.15 WD20.0mm


    无限远萤石半复明暗场物镜  45MM可见光金相物镜10X NA0.30 WD11.0mm


    无限远萤石半复明暗场物镜  45MM可见光金相物镜20X NA0.45 WD3.0mm


    无限远萤石半复明暗场物镜  45MM可见光金相物镜50X NA0.8 WD1.0mm


    无限远萤石半复明暗场物镜  45MM可见光金相物镜100X NA0.9 WD1.0mm

    物镜转换器

    5孔明暗场手动物镜转换器(带DIC插槽).


    5孔明暗场电动物镜转换器(电动/带DIC插槽).

    机架

    上光源

    反射用机架, 低手位粗微同轴调焦机构。粗调行程35mm,微调精度0.001mm。带有防止下滑的调节松紧装置和随机上限位装置。内置100-240V宽电压系统,采用数字调光,具有光强设定与复位功能

    载物台

    12*14英寸载物台,平台面积 760*430mm,玻璃台面310*418mm,移动行程:305mmX356mm机械平台,X、Y方向同轴调节;含快速移动装置

    聚光镜

    摇出式消色差聚光镜(N.A.0.9)

    干涉片

    诺曼尔斯基微分干涉片

    反射照明器

    明暗场反射照明器,带可变孔径光阑,视场光阑,中心可调,带滤色片插槽,带起偏镜/检偏镜插槽,

    灯室

    10W可调LED灯室,透、反射通用,预定中心

    摄像接口

    摄影摄像附件:0.65X,C型接口,可调焦(可选0.5X/1X)

    偏光组件

    起偏镜插板,360°旋转式检偏镜插板

    液晶显示器

    27寸4K品牌液晶显示器

    测量软件

    HDMI相机内置测量软件,拍照测量录像数据输出

    标尺

    高精度型测微尺,格值0.01mm


     


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