X6R半导体金相显微镜是一种用于观察半导体材料结构的仪器，采用研究级显微镜RX系列的新照明系统和光学系统，照明均匀，成像清晰。突破性的大金相机架设计，可承载8英寸超大工作平台，稳固创新的机械结构更好的满足专业市场需求。
明场观察（透射）
5W大功率LED，配以N.A.0.5聚光镜，可以透照明下，观察LCD彩色液晶显示屏，器件框架边缘等。透射照明与反射照明为独立控制，即可同时亮，也可单独亮。
明场观察（反射）
远心坷拉反射照明系统，配以全新设计的无限远平场消色差长工作距金相物镜，从低倍到高倍，都能得到清晰、平坦、明亮的高画质显微图像。
简易偏光观察
将起偏器镜及检偏镜插板插入照明的指定位置，即可进行简易偏光观察。检偏镜可分为固定式和360°旋转式两种。
暗场观察
将暗场照明拉杆拉到指定位置，即可使用暗场功能，可以观察物体表面的各种划痕、杂质点及其他细微缺陷，暗场功能只限于MX8R机型。
DIC微分干涉观察
在正交偏光的基础上，插入DIC棱镜，即可进行DIC微分干涉相衬观察。使用DIC技术，可以使物镜表面微小的高低差产生明显的浮雕效果，极大的提高图像的对比度。
5X、10X、20X专为DIC设计，使得整个视场的干涉一致，微分干涉效果非常出色，高倍物镜DIC效果也较好。
半导体检查显微镜MX8R技术规格
光学系统 | 无限远色差光学系统 |
观察方式 | 明场/暗场/偏光/DIC |
观察筒 | 30°倾斜，正像，无限远铰链三通观察筒，曈距调节：50-76mm,分光比：100:0或0:100 |
30°倾斜，倒像，无限远铰链三通观察头，曈距调节范围50-76mm,三档式分光比：0:100或20:80或100:0 | |
目镜 | 高眼点大视野平场目镜PL10X/25mm,视度可调，可带单刻度十字分划板 |
高眼点大视野平场目镜PL10X/26.5mm,视度可调，可带单刻度十字分划板 | |
物镜 | 明暗场半复消金相物镜（5X、10X、20X、50X 、 100X) |
无限远长工作距平场明暗场消色差金相物镜（5X、10X、20X、50X 、 100X) | |
转换器 | 明暗场五孔转换器，带DIC插槽 |
明暗场、明场六孔转换器，带DIC插槽 | |
明场七孔转换器，带DIC插槽 | |
调焦机构 | 反射式机架，前置低手位粗微同轴调焦机构。粗调行程33mm,微调精度0.001mm ；带有防止下滑的调节松紧装置和随机上限位装置；内置100-240V宽电压系统，带光亮度设定暗扭与复位按扭 |
明暗场反射照明器，带可变孔径光阑，视场光阑，中心均可调；带明暗场照明切换装置；带滤色片插槽与偏光装置插槽 | |
载物台 | 8英寸三层机械移动平台，低手位X、Y方向同轴调节；平台面积525mmx330mm,移动范围： 210mmx210mm ；带离合器手柄，可用于全行程范围内快速移动；玻璃载物台板，（反射用） |
反射照明系统 | 明暗场反射照明器，带可变孔径光阑，视场光阑，中心均可调；带明暗场照明切换装置；带滤色片插槽与偏光装置插槽 |
摄影摄像 | 0.5X/0.65X/1X摄像接筒，C型接口，可调焦 |
其他 | 起偏镜插板，固定式检偏镜插板，360°旋转式检偏镜插板；DIC微分干涉组件；反射用干涉滤色片组；高精度测微尺 |
