产品介绍
MX6R半导体金相显微镜是一种用于观察半导体材料结构的仪器，其模块化的部件设计，可对系统功能进行自由组合。涵盖明场、暗场、斜照明、偏光、DIC微分干涉等多种观察功能，在半导体行业中，它用于检查晶圆（半导体芯片的基础材料）的完整性、缺陷分析以及质量控制。
宽视场铰链式三目观察筒
正像铰链三目观察筒，所成像的方位与物体实际方向相同，物体移动的方向跟像面移动的方向相同，便于观察与操作.
大行程移动平台设计
采用6寸平平台设计，行程158×158mm，可适用于对应尺寸的晶圆或FPD检测，也可用于小尺寸样品的阵列检测。
高精度物镜转换器
转换器采用精密轴承设计，转动手感轻巧舒适，重复定位精度高，物镜转换后的同心度也得到较好的控制。
安全、稳重的机架结构设计
工业检测级显微镜镜体，低重心、高刚性、高稳定性金属机架，保证了系统的抗震能力与成像稳定性。
其前置低手位粗微调同轴调焦机构，内置100-240V宽电压变压器，可适应不同地区的电网电压。底座内部设计有风循环散热系统，长时间使用也不会使机架过热。
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效果图
MX6R技术规格
型号 | MX6R | MX6RT |
可选择的观察方法 | 明场/暗场/偏振光/DIC | 明场/暗场/偏振光/DIC/透射光 |
光学系统 | 无限远色差校正光学系统 | |
目镜 | PL10X/22平场高眼点目镜 | |
物镜 | LMPL-BD无限远长工作距明暗场金相物镜 | |
观察筒 | 正像观察筒，25°铰链式三目，分光比，双目：三目=100：0或0:100 | |
转换器 | 5孔内倾式明暗场转换器，带DIC插槽 | |
5孔内倾式明暗场转换器 | ||
载物台 | 6”三层机械移动平台，行程158x 158mm，玻璃工作台，右手位X、Y移动手轮，带离合器手柄，可快速移动 | 6”三层机械移动平台，反射行程158x 158mm，透射行程：100x100mm，玻璃工作台，右手位X、Y移动手轮，带离合器手柄，可快速移动 |
显微镜镜体 | 粗微调同轴、粗调行程33mm，微调精度0.001mm,，带粗调机构上限位及松紧调节装置。内置90-240V宽电压变压器，单路电源输出 | 粗微调同轴、粗调行程33mm，微调精度0.001mm,，带粗调机构上限位及松紧调节装置。内置90-240V宽电压变压器，双路电源输出 |
反射照明器系统 | 带可变视场光阑与孔径光阑，均可调中心；带滤色片插槽与偏光装置插槽；带斜照明切换拉杆，12V100W卤素灯，光强连续可调 | |
透射照明系统 | / | 单颗大功率5W LED，白色，光强连续可调。N..A.0.5聚光镜，带可变孔径光阑 |
工业CCD | 630万，1200万，2000万像素可选，USB输出； | |
软件 | 工业测量软件，可拍照，录像，报表导出； | |
PC | 可选配； | |
