红外显微镜的定义
• 红外显微镜，顾名思义以红外线为光源的
显微镜，就是红外显微镜。
（普通显微镜是以可见光为光源的）。
红外显微镜的应用
– Vcsel芯片隐裂（cracks）、InGaAs瑕疵红外无损检测
– 法拉第激光隔离器,Faraday Isolator近红外无损检测
– die chip 失效分析
– 红外透射Wafer正反面定位标记重合误差无损测量
– 硅基半导体Wafer、碲化镉CdTe、碲镉汞HgCdTe衬底无损红外检测
– 太阳能电池组件综合缺陷红外检测
-可穿透型新型材料
BTW-BX53IR近红外显微镜是以红外线不可见光为光源，能穿透1mm以内硅材料，配备4-12寸移动行程载物台，通过近红外相机把图像补足后输出到电脑屏幕上，可以进行拍照 、测量等。主要用于半导体行业对于芯片隐裂、倒装芯片、MEMS器件等无损检测。
一、基本配置（更多配置请致电咨询）
1、显微镜机架：含前置底位粗微同轴调焦机构
2、照明器：带视场光阑和孔径光阑，
3、红外观察筒：含红外相机接筒，双摄光路（选配）
4、红外灯箱：12V100W卤素灯
5、红外物镜
Olympus LMPLN5XIR：5X/0.10 ,W.D. 23;
Olympus LMPLN10XIR：10X/0.30, W.D.23;
Olympus LCPLN20XIR：20X/0.45, W.D.8.3,带校正环；
Olympus LCPLN50XIR：50X/0.65, W.D.4.5,带校正环；
6、物镜转换器：5孔手动
7、红外相机：红外相机BT-IMX993 ；Sony IMX993 SenSWIR InGaAs 传感器；具备 2048×1536 分辨率与 3.45 µm 像元尺寸；覆盖 400–1700 nm 光谱范围，支持 USB3、10GigE、CoaXPress、CameraLink、GigE 等接口，兼顾高速与高画质。
彩色相机BT-E3CMOS12000KPA，12MP彩色CMOS相机，采用Sony IMX226传感器，提供高分辨率彩色成像能力。配备Ultra-Fine硬件颜色引擎，确保精准色彩还原。USB3.0高速接口支持4K分辨率记录，适合教学显微成像和在线检测应用；8、红外截止片：1100nm，1200nm，1400nm，
9、载物台（选配）
10、晶圆转盘（选配）
11、电脑：品牌台式机，I3处理器/16G内存/500G固态硬盘/21.5寸LCD
可选配
二、BT-400IR近红外相机
1、大靶面，高分辨率：420万像素，1/2英寸靶面；
2、真实色彩还原：所见即所得级别的色彩还原，ΔE<3；
3、低噪声，高灵敏度：低至2e-读出噪声；
4、深度制冷：二级TEC制冷，可达环境温度以下10°C；
5、独立密封舱设计：有效防止相机长时间低温工作时出现结露
6、内置大容量图像缓存：2Gb图像缓存，确保传输稳定性
三、奥林巴斯红外物镜
四、应用案例图片
CSP/SIP的非破坏检查
Vcsel芯片隐裂（cracks）
die chip 失效分析
法拉第激光隔离器胶合偏振片无损检验
红外Wafer正反面定位标记重合误差无损测量
硅基半导体Wafer、碲化镉CdTe、碲镉汞HgCdTe衬底缺陷无损红外检测
太阳能电池组件综合缺陷红外检测
