产品介绍
奥林巴斯BX53M-IR显微镜是利用红外光波段对样品进行观察和分析的显微镜。由于红外线的波长比可见光长，因此红外显微镜能够穿透一些可见光无法穿透的材料，如Si(硅)、GaAs(砷化镓)等半导体材料有良好的红外光透过性，红外显微镜 BX53M-IR可用于观察以上这类半导体器件的内部；
红外显微镜的应用
Vcsel芯片隐裂（cracks）、InGaAs瑕疵红外无损检测
die chip 失效分析
红外透射Wafer正反面定位标记重合误差无损测量；
硅基半导体Wafer、碲化镉CdTe、碲镉汞HgCdTe衬底无损红外检测
技术规格：规格（用于红外观察）
BX53M-IR | BXFM | ||
IR观察筒 | 宽视野FN22 | 倒像：三目 | |
反射光照明 | IR观察 | BX3M-RLA-S | |
– | U-KMAS | ||
物镜转换器 | 用于BF | 六孔，对中六孔，七孔，编码五孔（选配电动物镜转换器） | |
Stage (X × Y) | 同轴左手（右手）操作载物台： | – | |
重量 | 大约18.9 kg （显微镜机架7.4 kg） | 大约11.6 kg （显微镜机架1.9 kg） | |
