BT-600 probe station | |||||
项 目 | 性能指标 | 备注 | |||
可测圆片尺寸 | 4，6 inch | ||||
| 气浮式快速移动行程 | X/Y： ≥178mm,包含锁定保护 | CHUCK 直径≥155mm | ||
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Platen 平台 | 材料 | 非抛光型不锈钢+特种铝合金制 | |||
可实现在档驻停操作 | 0 点针、300um 分离、3mm 架针 | ||||
容量 | 6-8个DC针座或者4个RF针座 | ||||
显微镜 |
配置 | （1）体式显微镜 目镜：20X 变倍范围：0.75X-5X 总放大倍数：15x-100x LED 光源照明 金相显微镜 目镜：20x Zoom：1-2x 物镜：2x，10x，20x，50x 总放大倍数：20x-1000x 光纤光源系统 |
根据客户测试参数要求而定 | ||
行程 | X/Y:2 inch x 2inch (分辨率： 1um) Z: 2inch | ||||
屏蔽罩（可选） | L1350*W900*H1300mm | ||||
防震桌（可选） | W*D*H:1100*800*900mm | ||||
