iMeasure iXRS-250 是一款能量色散型 X 射线测试仪。它能在无损的前提下,对超薄镀层的 厚度和成分进行分析。即使是面对复杂的多镀层系统,也完全可以胜任。
iMeasure iXRS-250 专为测量小型结构以及扁平类工件而设计;外壳体的开槽设计,可供大 型 PCB 板及类似工件的测量使用。
典型应用领域:
• 印制线路板
• 电子连接器、接插件
• 电子工业及半导体工业中的功能性镀层
• 微机械领域(例如:手表和医用领域)
• 电镀产品
采用了优化的内部结构设计,使得仪器在测量点很小的情况下也能获得高强度的 X 射线。基 于创新的架构,即使没有滤波器的辅助也能最大程度的避免布拉格反射的干扰,从而得到完 整的 X 射线能量,更有利于测量。配备了大面积硅漂移接收器(SDD)可以实现高且稳定的测量 精度和优良的探测灵敏度。内置 5 个可切换的准直器可以对小至 100µm 的结构进行测量。
荧光信号采用先进的基本参数方法进行计算,使得仪器在没有使用校准标准片进行校准的情 况下也可以完成精确测量
这是一台人性化的台式仪器,配备了高精度、可编程的 XYZ 轴驱动装置,可适用于高度自动 化的测量流程。 通过激光定位点,可以进行快速的手动定位。仪器所配备的高分辨率摄像头 可以高度还原测量对象的各种细节,无论您是想通过软件亦或是更直接地操作摇杆来定位被 测样品,都可以大幅提高定位精度。
仪器的运行软件是以网络应用的形式进行设计,包括计算测量结果等功能。我们可以通过仪 器配备的台式电脑来操控仪器,或者,也可以根据客户的需求,通过网络内的各种支持浏览 器的设备(例如:平板电脑、智能手机等)来操控仪器。
通用规格
可测量元素范围 | 镁 (Mg, 12) 到 铀 (U, 92) |
设计理念 | 台式仪器,固定式测量门 测量箱开槽设计,满足大型扁平类样品的测量 |
测量方向 | 由上至下 |
X 射线发射和接收
X 射线管 | 微聚焦型射线发生装置,铍窗口,阳极材质:钼 可选阳极材质: 钨 |
高压 | 内置三档:30 kV ,40kV ,50 kV;可自由切换 |
初级滤波片 | 无 |
X 射线光学器件 | 内置 5 个可切换的准直器: 圆形Ф0.3 mm,Ф0.15 mm,Ф 0.07mm;长方形 0.3×0.07 mm ,0.18×0.04 mm |
测量点尺寸 | 约为: 圆形Ф0.45 mm,Ф0.24 mm,Ф0.13mm;长方形 0.45×0.13 mm ,0.28×0.09 mm |
X 射线探测器 | 硅漂移探测器(SDD) |
探测器面积 | 40 mm² (有效面积 30 mm²) 可选 65 mm² (有效面积 50 mm²) |
探测器分辨率 | Fwhm < 130 eV (at Mn-Kα) |
最大计数率(输入/输出) | 200,000 cps / 150,000 cps |
视频摄像头
像素 | 6.4M(3096 × 2080 Pixel) |
可视区域面积 | 10.0 × 7.0 mm |
像素密度 | 7000 ppi |
放大倍数 | 100× 根据不同显示器,数据有所不同,具备数字放大功能 |
数字变焦 | 1×, 2×, 4× |
样品台
台面尺寸 | 400 × 420 mm |
X - Y - Z 轴 最大移动范围 | 320 × 400 × 30 mm 可测量范围 320 × 300 × 20 mm |
X - Y 轴最大移动速度 | 30 mm/s |
精度 | 重复精度 ≤ 1 µm |
最大样品重量 | 5 kg |
最大样品高度 | 20 mm |
电气参数
电源 | AC 115 V or AC 230 V 50 / 60 Hz |
能耗 | ≤ 200 W |
保护等级 | IP21 |
外形尺寸
外部尺寸 | 宽 × 长× 高: 610 × 810 × 500 mm |
重量 | 70 kg |
环境要求
运行温度 | 10°C – 35°C |
储存温度 | 0°C – 50°C |
湿度 | ≤ 95 % ,非冷凝 |
执行标准
CE 认证 | EN 61010, ISO 13849 |
X 射线标准 | DIN ISO 3497 和 ASTM B 568 |
认证 | 符合基于 德国 DIN 54113-1 的 “Strahlenschutzverordnung (StrlSchV)”标准,认证为完 全保护的仪器 |