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膜厚仪

分类:膜厚仪 发布时间:2024-09-13 236 次浏览

能量色散型 X 射线荧光测试仪,用于对微小工件及微型构件上的 超薄镀层进行厚度测试和分析

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    联系人:孙工
    手 机:13382187151
    地 址:江苏省苏州市相城经济技术开发区蠡太路2号
    网 址:http://www.szbtwgd.com
    产品介绍

    iMeasure iXRS-250 是一款能量色散型 X 射线测试仪。它能在无损的前提下,对超薄镀层的 厚度和成分进行分析。即使是面对复杂的多镀层系统,也完全可以胜任。

    iMeasure iXRS-250 专为测量小型结构以及扁平类工件而设计;外壳体的开槽设计,可供  PCB 板及类似工件的测量使用。

    典型应用领域:

    •    印制线路板

    •    电子连接器、接插件

    •    电子工业及半导体工业中的功能性镀层

       微机械领域(例如:手表和医用领域)

        电镀产品

     

     

    采用了优化的内部结构设计,使得仪器在测量点很小的情况下也能获得高强度的 X 射线。基 于创新的架构,即使没有滤波器的辅助也能最大程度的避免布拉格反射的干扰,从而得到完 整的 X 射线能量,更有利于测量。配备了大面积硅漂移接收器(SDD)可以实现高且稳定的测量 精度和优良的探测灵敏度。内置 5 个可切换的准直器可以对小至 100µm 的结构进行测量。

     

     

    荧光信号采用先进的基本参数方法进行计算,使得仪器在没有使用校准标准片进行校准的情 况下也可以完成精确测量

     

     

    这是一台人性化的台式仪器,配备了高精度、可编程的 XYZ 轴驱动装置,可适用于高度自动 化的测量流程。 通过激光定位点,可以进行快速的手动定位。仪器所配备的高分辨率摄像头 可以高度还原测量对象的各种细节,无论您是想通过软件亦或是更直接地操作摇杆来定位被 测样品,都可以大幅提高定位精度。

     

    仪器的运行软件是以网络应用的形式进行设计,包括计算测量结果等功能。我们可以通过仪 器配备的台式电脑来操控仪器,或者,也可以根据客户的需求,通过网络内的各种支持浏览 器的设备(例如:平板电脑、智能手机等)来操控仪器。


    通用规格

     

    可测量元素范围

    (Mg, 12) 到 铀 (U, 92)

    设计理念

    台式仪器,固定式测量门

    测量箱开槽设计,满足大型扁平类样品的测量

    测量方向

    由上至下

    X 射线发射和接收

     

    X 射线管

    微聚焦型射线发生装置,铍窗口,阳极材质:钼 可选阳极材质:

    高压

    内置三档:30 kV 40kV 50 kV;可自由切换

    初级滤波片

    X 射线光学器件

    内置 5 个可切换的准直器: 圆形Ф0.3 mmФ0.15 mm,Ф 0.07mm;长方形 0.3×0.07 mm 0.18×0.04 mm

    测量点尺寸

    约为: 圆形Ф0.45 mm,Ф0.24 mm,Ф0.13mm;长方形 0.45×0.13 mm 0.28×0.09 mm

    X 射线探测器

    硅漂移探测器(SDD)

    探测器面积

    40 mm² (有效面积 30 mm²)

    可选 65 mm² (有效面积 50 mm²)

    探测器分辨率

    Fwhm < 130 eV (at Mn-Kα)

    最大计数率(输入/输出)

    200,000 cps / 150,000 cps

    视频摄像头

     

    像素

    6.4M(3096 × 2080 Pixel)

    可视区域面积

    10.0 × 7.0 mm

    像素密度

    7000 ppi

    放大倍数

    100×

    根据不同显示器,数据有所不同,具备数字放大功能

    数字变焦

    1×, 2×, 4×

    样品台

     

    台面尺寸

    400 × 420 mm

    X - Y - Z 轴

    最大移动范围

    320 × 400 × 30 mm

    可测量范围 320 × 300 × 20 mm

    X - Y 轴最大移动速度

    30 mm/s

    精度

    重复精度  1 µm

    最大样品重量

    5 kg

    最大样品高度

    20 mm

    电气参数

     

    电源

    AC 115 V or AC 230 V    50 / 60 Hz

    能耗

     200 W

    保护等级

    IP21

    外形尺寸

     

    外部尺寸

    × 长× 高: 610 × 810 × 500 mm

    重量

    70 kg

    环境要求

     

    运行温度

    10°C  35°C

    储存温度

    0°C  50°C

    湿度

    ≤ 95 % ,非冷凝

    执行标准

     

    CE 认证

    EN 61010, ISO 13849

    X 射线标准

    DIN ISO 3497 和 ASTM B 568

     

    认证

    符合基于 德国 DIN 54113-1 

    “Strahlenschutzverordnung (StrlSchV)”标准,认证为完 全保护的仪器


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