SOPTOP全新半导体工业检测产品——AWL系列晶圆检查系统，兼具稳定性和安全性，能够安全可靠的传送晶圆，适合于前道到后道工程的晶圆检查。
一个晶圆在经过一系列复杂工序后最终变成多个IC单元，期间晶圆需要依赖晶圆搬运机在处理站之间执行快速、精确的传送作业。纳米级厚度的晶圆很容易在传送过程中损坏，而且还须确保在工序中晶圆表面不得有脏污、缺陷等。
SOPTOP推出了AWL系列晶圆检查系统（晶圆搬送机），拥有 AWL046、AWL068、AWL812三种机型，多类配置分别可适用于 4/6 英寸，6/8英寸、8/12英寸的晶圆检测，适应范围广、搭配灵活 。
AWL系列可自由设置的检查模式，充分符合人机工程学设计，操作舒适、简便，又可称作晶圆自动搬送机。
360°宏观检查
AWL系列具有宏观检查手臂，可以实现晶面宏观检查、晶背宏观检查 1 的 360°旋转，更为容易发现伤痕和微尘。通过操作杆可随意将晶圆倾斜观察。晶面最大倾斜角度70°，晶背 1 最大倾斜角度 90°，晶背 2最大倾斜角度 160°，利用旋转功能、倾斜角度，完全可以目视检查整个晶圆正反面及边缘。
人机工程学设计
LCD 显示屏，可为操作者提供更直观的视觉体验，可清晰的显示当前检查项目及次序，调试参数一目了然。手动快速释放真空载物台可提高操作者的舒适度和工作效率，充分体现了国产晶圆搬送机的人机工程学设计理念。
精密微观检查
采用专业半复消色差金相物镜，可满足明场、暗场、DIC、偏光等多种观察方式。全新电动控制系统，可排查 μm 级异常，诸如孔未开出，短路，断路，沾污，气泡，残留等。
应用领域
技术规格参数
型号 | AWL046 | AWL068 | AWL812 |
晶圆尺寸 | 100mm / 150mm | 150mm / 200mm | 200mm / 300mm |
晶圆最小厚度 | 150um | 150um / 180um | 180um / 250um |
晶舟类型 | Open Cassette | Open Cassette / FOUP、FOSB | |
检查模式设置 | 全检 / 奇数检 / 偶数检 / 手动选择 | ||
晶舟扫描（有 / 无 / 斜片） | ● | ● | ● |
晶舟内凸片侦测报警 | ≥4mm | ≥5mm | |
晶圆预定位（平边、Notch） | ● | ● | ● |
朝向设置（平边、Notch） | 非接触式定位平边、Notch，支持0°、90°、180°、270°朝向设置 | ||
检查功能 | 晶面宏检（旋转）、晶背宏检1（外圈、旋转）、晶背宏检2（中心） | 晶面宏检（旋转）、晶背宏检1（外圈）、晶背宏检2（中心） | |
外观尺寸（W*D*H） | 1450*700*1600mm | 1550*700*1600mm | 2400*1400*2450mm |
电源需求 | 1P / 220V / 10A | 1P / 220V / 16A | |
真空需求（负压 / 正压） | -70KPA ～ -80KPA | -70KPA ～ -80KPA / 0.5MPA | |
适用显微镜 | SOPTOP MX68R金相显微镜 | ||
光学系统 | 无限远色差校正光学系统，放大倍率50X-1000X | ||
观察方式 | 明场、暗场、偏光、DIC | ||
目镜 | 高眼点大视野平场目镜PL10X22mm，可带视度可调，可带测微尺 | 高眼点大视野平场目镜PL10X25mm，可带视度可调，可带测微尺 | |
观察头 | 铰链三目观察筒，5-35度倾角可调，正像，瞳距调节范围：50-76mm，两档式分光比，双目：三目=100：0，0：100 | 铰链三目观察筒，0-35度倾角可调，正像，瞳距调节范围：50-76mm，两档式分光比，双目：三目=100：0，0：100 | |
物镜 | 长工作距平场明暗场半复消色差金相物镜 5X / 10X / 20X / 50X / 100X | ||
转换器 | 明暗场6孔电动转换器（带DIC插槽） | ||
机架 | 反射式机架，前置低手位粗微同轴调焦机构，粗调行程35mm，微调精度0.001mm，带有防止下滑的松紧调节装置和随机上限位装置，内置100-240V宽电压系统 | 明暗场反射照明器，带视场光阑，可变电动孔径光阑，带明暗场切换装置，带滤色片插槽与偏光装置插槽，带12V10W LED光源控制部件 | |
明暗场反射照明器，带视场光阑，可变电动孔径光阑，带明暗场切换装置，带滤色片及偏光装置插槽，带12V10W LED灯箱 | |||
载物台 | 6英寸机械移动平台，低手位X、Y方向同轴调节，晶圆承片台台面φ38mm，可360°旋转，移动行程228mm(X方向)×170mm（Y方向），观察范围：170mmX170mm，带离合器手柄 | 8英寸机械移动平台，低手位X、Y方向同轴调节，晶圆承片台台面φ60mm，可360°旋转，移动行程280mm（X方向）×210mm（Y方向），观察范围：210mm×210mm，带离合器手柄 | 12英寸自动平台，X、Y、Z、φ多方向调节，晶圆承片台台面φ70mm，可360°旋转，移动行程600mm（X方向）×500mm（Y方向），观察范围：310mm×310mm，φ方向可±5度旋转，各轴运动速度可以高低速切换 |
其他 | 滤色片插板、起/检偏镜插板、DIC组件、摄像接口、调整平台、相机、专业晶圆检查软件等 | ||
