产品简介：
•AL120晶圆搬送机可对应200mm以下晶圆尺寸的硅、化合物晶圆，可以安全高效搬送薄片晶圆
•非常适合于前道到后道工程的晶圆检查
•适应范围广、搭配灵活
•高度实用性
•进一步优化的宏观检查
•操作便捷
•高度可靠性
•优先考虑晶圆和操作者的安全
•坚固、耐用的显微镜底座
•人机工程学设计的载物台
•电动物镜转换器和孔径光阑相互锁定，可以优化各物镜的照明和对比度
•如果特别订制，AL120还可以应用到其他型号的显微镜上
产品特点：
•对应多种尺寸组合
•有200 mm专用型、200 mm/150 mm兼用型和150 mm型（对应小于150 mm的晶圆）的3种型号
•对应薄片制造厂家的需求，AL120-LMB-90搭载的新型搬送手臂的设计可以搬运整盒25枚90 μm的极薄晶圆
•宏观检查手臂可以360゜旋转，更为容易发现伤痕和微尘
•利用360゜旋转功能，*可以目视检查整个晶圆（包括边缘）
•在表面宏观检查中，使用操纵杆可随意将晶圆*大倾斜30゜进行观察
•为了满足各种常规检查的要求，AL120可以登记多达10个检查程序
•使用这一功能可以记录特定的卡盒、晶圆和传输速度
•快速菜单选择按钮则可以让操作员立刻切换不同程序
•晶圆搬送机的菜单设置和设置参数都会在新型的LCD显示器上显示
•使用RECALL按钮可以显示检查时登记的有缺陷的对应SLOT，便于操作者再次确认
•AL120使用非接触光学定位、查找和对齐缺口／平面，可以减少晶圆和设备之间的接触，提高晶圆的清洁度
•为了能够安全的安装晶圆，采用了在装置正面放置片盒的设计
•在安全性和人机工学上通过了SEMI S2/S8检测，同时，在环境保护方面遵守了RoHS指令
•AL120搭载奥林巴斯MX晶圆检查显微镜系列，通过各种观测方法
•实现了*的图像分辨率和清晰度
•手动快速释放真空载物台可以提高操作员的舒适度和工作效率，标准功能为XY轴控制和晶圆旋转功能。
•可通过操纵杆或预编程的程序控制电动载物台，进一步将检查过程自动化
•只需一键便可驱动载物台返回或离开load/unload位置及原点位置
为了能够安全的安装晶圆，采用了在装置正面放置片盒的设计。
在安全性和人机工学上通过了SEMI S2/S8检测，同时，在环境保护方面遵守了RoHS指令。
AL120搭载奥林巴斯MX专业晶圆检查显微镜系列，通过各种观测方法，包括：明视场、暗视场、微分干涉（DIC）、近IR（近红外线）和DUV（深紫外线），实现了图像分辨率和清晰度。电动物镜转换器和孔径光阑相互锁定，可以优化各物镜的照明和对比度。如果特别订制，AL120还可以应用到其他型号的显微镜上。
手动快速释放真空载物台可以提高操作员的舒适度和工作效率，标准功能为XY轴控制和晶圆旋转功能。
可通过操纵杆或预编程的程序控制电动载物台，进一步将检查过程自动化。只需一键便可驱动载物台返回或离开load/unload位置及原点位置。
技术规格:Technical specifications
型号 | 200 mm专用型 | 200 mm/150 mm 兼用型 | 150 mm型 | ||||||||||
晶圆尺寸SEMI规格 | 200mm | 200mm/150mm | 150mm/125mm/100mm | ||||||||||
晶圆最小厚度 | 90μm | 180μm | 400μm | 150μm | |||||||||
片盒类型* | SEMI stad.25(26)-slot | ||||||||||||
片盒数 | 1 | ||||||||||||
检查模式 | 全部检查／抽样检查 | ||||||||||||
搬 运 顺 序 | 微观检查（显微镜检查） | ™ | ™ | ™ | ™ | ™ | ™ | ™ | |||||
表面宏观检查 | ™ | ™ | ™ | ™ | |||||||||
背面宏观检查 | ™ | ™ | ™ | ™ | |||||||||
二次背面宏观检查 | ™ | ™ | ™ | ™ | |||||||||
晶圆定位（每 90º） | 非接触（定位平边／V型槽） | 非接触（定位平边） | |||||||||||
适配显微镜型号l | 奥林巴斯半导体检查显微镜 MX61L | ||||||||||||
尺寸（mm） | 640(W) X 620(D) X 378(H) Body Only,1100(W) X 620(D) X 378(H) with Microscope | 570(W) X 620(D) X 400(H) Body Only,980(W) X 620(D) X 400(H) with Microscope | |||||||||||
重量（kg）（仅主机部分） | 44 | 44 | 41 | 44 | 41 | 40 | 37 | ||||||
使用环境（电源／真空） | AC100 V～120 V、1 A或AC220 V～240 V、0.5 A 50/60 Hz、-67～-80 kPa、20 Liter/min以上 | ||||||||||||
12寸
型号 | AL120-LMB12-LP | AL120-LMB12-F |
晶圆尺寸 | 300mm（SEMI M1.15t=775μm）可选：200mm | |
卡盒数 | 单盒（装载、卸载兼用） | |
卡盒设置高度 | 900mm | |
装载端口 | 有 | 无 |
搬运顺序 | 表面宏、内面宏、显微镜检查 | |
晶圆校准 | 非接触式中心环 | |
晶圆搬送方式 | 真空吸附机械搬运 | |
应用环境 | AC100-120V，220~240V,3.0/1.7A,50/60Hz，真空 60~80Kpa | |
适用显微镜 | 半导体检查显微镜MX61L | |
