工具测量显微镜是一种高端的显微镜系统，它通常结合了金相显微镜的观察功能和精确的测量平台，以实现对样品的三轴（XYZ）测量。这种显微镜系统特别适用于需要高精度尺寸测量的行业，如半导体晶圆尺寸、金线高度、薄膜、LCD，五金工具等。
1、产品介绍
1）显微镜类型：TS系列电动工具测量显微镜;
2）放大倍数：放大50、100、200、500倍；可以选配1000倍
3）光源类型：5W白光LED灯；
4）视场数：22mm；
5）照明方式：反射光/透射光；
6）观察方法：明场/暗场/偏光/DIC；（具体以配置为准）
7）微分干涉：DIC微分干涉成像；（选配）
8）辅助聚焦裂相系统；（选配）
9）物镜转盘：5孔/6孔物镜转盘；
10）载物台结构：三层机械结构高精度移动载物台；
11）测量行程：详情见规格参数表；
2、高精度电动载物台
1）平台光栅显示精度值0.5um，可以选配0.1um；
2）XY轴传动方式：手动；
3、Z轴为电动控制,测量准确度
1）Z轴光栅显示精度值0.5um（可以选配0.1um），测量精度在3-5um
2）传动方式：电动；
大行程大理石平台测量显微镜
4、型号规格表
规格型号 | 测量行程 | ||
X轴 | Y轴 | Z轴 | |
BT-200TS | 200mm | 200mm | 175mm |
BT-300TS | 300mm | 300mm | 175mm |
BT-400TS | 400mm | 400mm | 175mm |
BT-3020TS | 300mm | 200mm | 175mm |
BT-4030TS | 400mm | 300mm | 175mm |
BT-5040TS | 500mm | 400mm | 175mm |
5、配置参数：
光学系统 | 无限远光学系统 |
观察头 | 30°倾斜，正像，无限远铰链三通观察筒，瞳距调节 :50-76mm，两档分光比 100/0 或 0/100 |
目镜 | 高眼点大视野平场目镜 PL10X/22mm，可带测微尺 |
转换器 | 内定位 5 孔转换器 |
物镜 | 5X无限远长工作距平场消色差金相 DIC 物镜 |
10X无限远超长工作距平场消色差金相 DIC 物镜 | |
20X无限远超长工作距平场消色差金相DIC物镜 | |
50X无限远长工作距平场明场消色差金相物镜 | |
100X无限远超长工作距平场明场半复消金相物镜 | |
放大倍率 | 光学放大倍率 ：50X-1000X |
系统放大倍率 ：135X-2700 | |
测量显微镜主体 | 电动Z轴调焦，行程以型号规格为准； 测量精度，X 和 Y ：（2+L/200)μm，L 为测量长度（单位 mm） Z:（3+L/200)μm |
照明系统 | 明场反射照明器，带明场照明切换装置 ；带滤色片插槽与偏光装置插槽，带 5WLED 灯源，亮度可调（含托架适配器） |
辅助对焦模块，带对焦分划板两档 | |
调焦方式 | 电动和手动复合型粗微调手轮调节，精度0.001mm，调焦距离 175mm |
偏振光 | 起偏镜插板，360°旋转式检偏镜插板 |
DIC 组件 | 微分干涉组件 |
相机 | 1）630万有效像素; 2）1/1.8"CMOS芯片，单个像素面积2.4X2.4um; 3）半导体制冷; 4）采用OTC真彩还原技术，具有优良的色彩还原效果； 5）高灵敏度，*短曝光时间10ms； 6）高速USB3.0数据传输； 7）标准C-mount视频接口； |
摄像接口 | 0.65X CTV、C 型接口、可调焦 |
PC | 戴尔电脑OptiPlex 3050MT操作系统W10处理器芯片I5-10500， 23寸戴尔显示器 |
软件 | 1）实时影像观察; 2）实时图像抓取; 3）二维几何尺寸测量; 4）测量结果报表输出; 5）多分辨率切换; |
标尺 | 0.01mm |
产品效果图
具体配置以实际确认为准；
