在半导体芯片制造过程中,金线(通常用于形成芯片中的导电连接)的高度测量是一个关键步骤,因为它直接影响到芯片的性能和可靠性。为了精确测量金线的高度,可以使用配备金相光学系统和测量平台的显微镜,以及辅助聚焦裂像系统。
芯片金线高度测量(绿色为辅助聚焦裂像)
以下是这种显微镜在半导体芯片金线高度测量中的应用:
1.放大观察:显微镜可以提供不同倍率的放大,使工程师能够清晰地观察到金线及其周围结构。
2.聚焦裂像系统:这个系统可以帮助显微镜在不同的焦平面上取得清晰的图像,从而更容易地识别和测量金线的高度。
3.精确测量:显微镜通常配备有测量工具,可以对金线的高度进行精确测量,这些测量结果可以立即显示在屏幕上或记录在系统中。
4.拍照记录:显微镜可以捕捉高质量的图像,用于记录测量到的金线高度,以便于后续分析或存档。
5.数据记录:测量平台通常能够自动记录测量数据,包括金线的高度、位置和数量等,这些数据可以用于质量控制和工艺改进。
6.自动化操作:现代的金线高度测量系统可以实现自动化操作,提高测量效率和重复性,减少人为误差。
电动工具测量显微镜