同轴光视频显微镜是一种精密的光学仪器,它使用同轴照明系统,即光源和观察系统共享同一轴线,这种照明方式可以提供均匀的光线,减少阴影,从而更好地观察半透明或透明的样品,如晶圆和芯片。以下是同轴光视频显微镜在观察晶圆和芯片时的主要功能:
1.放大观察:同轴光视频显微镜可以提供高倍率的放大,使工程师和技术人员能够清晰地看到晶圆上的电路图案、芯片的结构细节、焊点等微小部分。
2.拍照记录:显微镜通常配备有拍照功能,可以捕捉高质量的显微图像,这些图片可以用于记录问题、分析缺陷、存档或报告。
3.测量数据:许多视频显微镜都具备测量功能,可以对晶圆上的尺寸进行精确测量,如芯片的大小、焊点间距、线路宽度等,以确保制造精度符合设计要求。
4.故障分析:在晶圆或芯片出现问题时,视频显微镜可以帮助工程师进行视觉故障分析,定位问题区域,如缺陷、污染、损伤等,从而进行有效的故障诊断。
5.工艺改进:通过显微镜观察晶圆的生产过程,可以发现现有工艺的不足之处,进而进行工艺参数的优化,以提升产品质量和生产效率。
6.培训和教育:视频显微镜也可以作为培训工具,供新员工学习晶圆和芯片的结构和制造工艺,增强他们对于细节的观察力和理解力。
晶圆图案1
晶圆图案2
同轴光视频显微镜