TM4000PlusIII/TM4000III的特点
节省人力成本，降低操作技术难度
多样品自动化观察：观察工作流程的自动化功能（TM4000PlusIII）
可以作为程序保存样品台移动、倍率变更、拍照等观察流程。程序化的观察流程，一键单击即可自动执行操作。
为不同类型客户（如日常使用量较多，需进行多样品观察的客户，对观察条件不确定的客户等）节省人力成本，降低操作技术难度。
实现快速自动颗粒分析：大电流功能 + AZtecLiveLite 颗粒分析功能
工业产品的清洁度分析和使用过滤膜收集颗粒并进行自动分析的测量颗粒较多，因此需要的分析时间较长。
TM4000PlusIII配有全新的大电流模式，支持牛津仪器公司的能谱探测器，以及AZtecLiveLite颗粒分析功能包，从而可以实现快速的颗粒分析。
设备管理更有规划性
日常维护：灯丝监控
搭载灯丝监测功能，可在需要更换灯丝时发出提示。
多人使用设备时，可减少突然灯丝烧断导致更换灯丝的担忧，从而可以更合理的规划使用设备。
自动检查仪设备状态：AutoOQ（Auto Operational Qualification)
此功能可查看SEM状态报告，可掌握设备状态并共享给服务工程师。
作为全新教学设备
洞察无需样品前处理的微观世界：低真空功能 + 高灵敏度背散射电子探测器
可以直接观察各种样品（如植物、矿石、食品等）的显微图像，
TM4000PlusIII/TM4000III的低真空功能减少了样品前处理过程，通过高灵敏度的背散射电子探测器可快速获取图像。
作为Python编程教学演示设备：观察工作流程的自动化功能（TM4000PlusIII）
培养并保障数字化人才是全球重要的课题之一。
TM4000PlusIII的自动化功能中融入了“顺序语句”“循环语句”“条件语句”等编程中重要的概念，通过TM4000PlusIII操作可以体验学习编程。
观察图像3分钟。可迅速获得所需数据，并制作报告。
观察与分析的灵活性
自动获取各类数据。快速切换！
可快速获得元素分布图 *2
使用Camera Navi*的话，就是如此简单
Camera Navi图像让您轻松找到视野，分布图(MAP)功能全程支持您的观察
操作简单且快捷
观察图像只需 3 分钟。
可快速观察图像，并导出测试报告。
Report Creator可让您轻松制作报告
只需选择图像和模板，就可以制作Microsoft Word、Excel、PowerPoint格式的报告
即便是绝缘物样品，也无需预处理，就可直接进行观察。
“荷电减轻模式”可抑制荷电现象
对于容易产生荷电的样品，可使用“荷电减轻模式”，在抑制荷电的状态下进行观察。
只需用鼠标在软件上点击即可切换到“荷电减轻模式”。
可在低真空的条件下进行多种观察
对于容易产生荷电的粉末或含水等样品，可结合其目的进行观察。
可在低真空的条件下进行二次电子像（表面形状）观察。
无需预处理，也可以观察绝缘物和含水、含油样品的表面
不仅是观察传统的导电性样品，还可以在无预处理的条件下观察绝缘物和含水、含油样品。可快速进行二次电子像与背散射电子像之间的切换。
高感度低真空二次电子检测器
采用高感度低真空二次电子检测器(UVD)。通过检测由于电子线与残留气体分子之间的碰撞而产生的光，可以观察带有二次电子信息的图像。此外，通过控制该检测器，来检测电子照射所产生的光，可以获得CL信息（UVD-CL：带有CL信息的图像）。
高感度低真空二次电子检测器的检测原理
可支持加速电压20 kV
TM4000PlusIII/TM4000III可支持加速电压20 kV。
凭借EDS分析（选配），可进行更高计数率解析。
通过加速电压20 kV，实现EDS元素分布图的高S/N化
Multi Zigzag（选配）
可实现在广域范围内进行SEM观察。
搭配自动马达台，可实现低倍率，高精度，大范围的观察分析。
非常简单的 EDX 分析
EM 样品台（选配）
可轻松观察 STEM 图像
与全新开发的 STEM 样品台和高灵敏度低真空二次电子检测器(UVD)配合使用，可轻松观察小倍率 STEM 图像。可轻松观察薄膜样品和生物样品。
*UVD为TM4000PlusIII上的配件。
样品：研磨剂
加速电压：20 kV
观察信号：(a) STEM 图像, (b) 背散射电子像
放大倍率：10000 倍
规格
项目 | TM4000PlusIII | TM4000III |
倍率 | ×10～×100,000（照片倍率） | |
加速电压 | 5 kV、10 kV、15 kV、20 kV | |
图像信号 | 背散射电子 | 背散射电子 |
真空模式 | 导电体（仅背散射电子） | 标准 |
样品可移动范围 | X：40 mm Y：35 mm | |
最大样品尺寸： | 80 mm（直径） 50 mm（厚度） | |
电子枪 | 预对中钨灯丝电子枪 | |
检测器 | 背散射电子：高感度4分割 背散电子检测器 | 背散射电子：高感度4分割 背散射电子检测器 |
排气系统 | 涡轮分子泵：67 L/s 1台 | |
马达台 | 自动马达台 | 手动样品台 |
尺寸与重量 | 主机：330（宽）×614（纵深）×547（高）mm 55 kg | 330（宽）×617（纵深）×547（高）mm 53 kg |
